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掃描電鏡和能譜儀的原理與實(shí)用分析技術(shù)(第2版)
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本書從應(yīng)用的角度出發(fā),介紹了掃描電鏡和能譜儀的基本原理及其在實(shí)際工作中的一些典型應(yīng)用。全書分為上、下兩篇和一些相關(guān)的附錄。上篇包括第1~9章,主要論述了掃描電鏡的原理、結(jié)構(gòu)、操作要點(diǎn)和應(yīng)用中幾種常見(jiàn)的圖像質(zhì)量問(wèn)題,以及一些改善圖像質(zhì)量的應(yīng)對(duì)方法和措施,也列舉了多種電子元器件在電應(yīng)力和環(huán)境應(yīng)力等作用下的一些典型失效案例。書中還介紹了有關(guān)電鏡和能譜儀的維護(hù)、保養(yǎng)及安裝場(chǎng)地的選擇等注意事項(xiàng),以供用戶在規(guī)劃和選擇安裝場(chǎng)地時(shí)參考。下篇包括第10~18章,主要介紹了X射線能譜儀的原理、數(shù)據(jù)采集和處理及具體的應(yīng)用技術(shù),其中包括Si(Li)與SDD新舊兩種譜儀探測(cè)芯片的基本原理,以及能譜儀在定性、定量分析中常遇到的一些棘手問(wèn)題及應(yīng)對(duì)方法。最后還簡(jiǎn)略地介紹了羅蘭圓波譜儀和平行光波譜儀的原理及它們各自的特點(diǎn)。書中的附錄還收錄了真空壓力單位的換算表,編撰了能譜分析中可能出現(xiàn)易被誤判的假峰等可能的干擾峰,還加入了部份與掃描電鏡和能譜分析等有關(guān)的常用顯微分析的標(biāo)準(zhǔn)號(hào)。

工業(yè)和信息化部電子第五研究所組編 ·物理學(xué) ·33.3萬(wàn)字

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