集成電路材料基因組技術(shù)
集成電路材料產(chǎn)業(yè)是整個集成電路產(chǎn)業(yè)的先導(dǎo)基礎(chǔ),它融合了當(dāng)代眾多學(xué)科的先進成果,對集成電路產(chǎn)業(yè)安全、可靠發(fā)展及持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新起著關(guān)鍵的支撐作用。集成電路材料基因組研究涉及微電子、材料學(xué)、計算機、人工智能等多學(xué)科領(lǐng)域,屬于新興交叉學(xué)科研究。本書系統(tǒng)介紹了材料基因組技術(shù)及其在集成電路材料研發(fā)中的應(yīng)用,主要內(nèi)容包括:集成電路概述與發(fā)展趨勢,材料基因組技術(shù)發(fā)展和研究進展,材料基因組技術(shù)在集成電路材料研發(fā)中的應(yīng)用進展及前景,總結(jié)和展望。
·7.3萬字