目錄(118章)
倒序
- 封面
- 版權信息
- 中華人民共和國住房和城鄉建設部公告
- 前 言
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工藝區劃
- 4.4 設備配置
- 5 廠址選擇及總體規劃
- 5.1 廠址選擇
- 5.2 總體規劃
- 6 建 筑
- 6.1 一般規定
- 6.2 防火及安全疏散
- 7 結 構
- 7.1 一般規定
- 7.2 廠房結構設計
- 7.3 微振動控制標準
- 7.4 微振動控制設計及測試
- 7.5 基座平臺設計
- 8 氣體動力
- 8.1 冷、熱 源
- 8.2 大宗氣體供應
- 8.3 特種氣體供應
- 8.4 壓縮空氣供應
- 8.5 工藝真空和清掃真空
- 9 供暖、通風、空氣調節與凈化
- 9.1 一般規定
- 9.2 采暖、通風與廢氣處理
- 9.3 空氣調節與凈化
- 9.4 防 排 煙
- 10 給水排水
- 10.1 一般規定
- 10.2 一般給水排水
- 10.3 純 水
- 10.4 工藝冷卻循環水
- 10.5 廢 水
- 10.6 消防給水及滅火設施
- 11 電 氣
- 11.1 供配電與照明
- 11.2 防雷與接地
- 11.3 火災報警及消防聯動
- 11.4 通信及自控
- 12 防 靜 電
- 12.1 一般規定
- 12.2 防靜電措施
- 12.3 防靜電接地
- 13 化 學 品
- 13.1 一般規定
- 13.2 化學品儲存和配送
- 13.3 管材、閥門
- 13.4 化學品廢液收集回收
- 14 空間管理
- 14.1 一般規定
- 14.2 管線布置
- 14.3 共用管道支、吊架
- 附錄A 薄膜晶體管液晶顯示器生產工藝流程
- 附錄B 微振動標準VC曲線
- 本規范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
- 制訂說明
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工藝區劃
- 4.4 設備配置
- 5 廠址選擇及總體規劃
- 5.1 廠址選擇
- 5.2 總體規劃
- 6 建 筑
- 6.1 一般規定
- 6.2 防火及安全疏散
- 7 結 構
- 7.1 一般規定
- 7.2 廠房結構設計
- 7.4 微振動控制設計及測試
- 7.5 基座平臺設計
- 8 氣體動力
- 8.1 冷、熱 源
- 8.2 大宗氣體供應
- 8.3 特種氣體供應
- 8.4 壓縮空氣供應
- 8.5 工藝真空和清掃真空
- 9 供暖、通風、空氣調節與凈化
- 9.1 一般規定
- 9.2 采暖、通風與廢氣處理
- 9.3 空氣調節與凈化
- 9.4 防 排 煙
- 10 給水排水
- 10.1 一般規定
- 10.2 一般給水排水
- 10.3 純 水
- 10.4 工藝冷卻循環水
- 10.5 廢 水
- 10.6 消防給水及滅火設施
- 11 電 氣
- 11.1 供配電與照明
- 11.2 防雷與接地
- 12 防 靜 電
- 12.1 一般規定
- 12.2 防靜電措施
- 12.3 防靜電接地
- 13 化 學 品
- 13.1 一般規定
- 13.2 化學品儲存和配送
- 13.4 化學品廢液收集回收
- 14 空間管理
- 14.1 一般規定
- 14.2 管線布置
- 14.3 共用管道支、吊架 更新時間：2021-04-22 19:29:15
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