9　供暖、通風、空氣調節與凈化

9.1　一般規定

9.1.1　潔凈室（區）的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環境的要求確定。

9.1.2　潔凈室（區）的氣流組織應根據潔凈度等級以及生產工藝要求確定。

9.1.3　凈化空調系統分開設置的原則除應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定外，還應符合下列規定：

1　溫、濕度基數差別大的潔凈室應分開設置凈化空調系統；

2　溫、濕度允許波動范圍差別大的潔凈室應分開設置凈化空調系統。

9.1.4　潔凈室內的新風量應取下列兩項中的最大值：

1　補償室內排風量和保持室內正壓值所需新風量之和；

2　保證供給潔凈室內每人每小時的新風量不小于40m3。

9.1.5　潔凈室與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規定：

1　不同等級的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa；

2　潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應小于5Pa；

3　潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa。

9.1.6　布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區的風管、水管應采取減振措施。