9.2　采暖、通風與廢氣處理

9.2.1　嚴寒及寒冷地區各動力站房及管廊應根據技術要求設置防凍采暖設施，其他房間的采暖設計應符合現行國家標準《工業建筑供暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019的有關規定。

9.2.2　潔凈室（區）內不應采用散熱器采暖。

9.2.3　潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備均應設局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。

9.2.4　排風系統的設計應符合下列規定：

1　等離子體增強化學氣相沉積和干法刻蝕設備的尾氣應設就地處理裝置。

2　酸、堿、有毒和有機廢氣應分開設置排風系統，并應設置備用風機和應急電源。

3　陣列、彩膜、成盒廠房一般排風系統應設置備用風機。

4　有冷凝液產生的工藝設備局部排風管宜設置坡度和排液口，冷凝液應排至相應的廢水管網中，且風管系統應采取防液體滲漏措施。

5　有毒排風系統的風管應采用內涂聚四氟乙烯的不銹鋼板制作。

6　有毒和有機排風應采取防爆措施。

7　酸、堿、有毒和有機排風系統的風管不應穿過防火墻或防火分隔物。若必須穿過時，不得設置熔片式防火閥。

8　酸、堿、有毒和有機排風系統的廢氣處理設備應設在排風機的負壓端。

9　有毒排風系統的風管應在便于觀察的位置設置透明觀察口，其管內風速不應小于10m/s。

10　工藝設備局部排風系統的室外風管應根據當地氣象條件設置防結露保溫措施。

11　布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區內的排風管道，其管內風速不應大于12m/s。

12　潔凈室的排風系統應設置防止室外氣流倒灌的措施。

9.2.5　廢氣處理系統的設計應符合下列規定：

1　等離子體增強化學氣相沉積和干法刻蝕設備尾氣宜設置兩級就地處理裝置，對硅烷和二氧化硅的去除率不應小于98%，對其他有害物的處理效率不應小于99%。

2　有毒廢氣處理系統應針對酸、堿、粉塵綜合處理。

3　酸、堿、有機、有毒廢氣處理系統宜設置備用處理設備。

4　酸、堿、有機、有毒廢氣不得采用固定床吸附劑方式處理。

5　酸、堿、有毒廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設備的填料層數、厚度和噴淋藥液循環量應根據有害物入口濃度、排放標準等因素計算確定。處理設備的加藥、補水和排污應采用自動方式；處理設備宜就近設置日用藥箱。

6　處理設備的排水應進入廢水處理系統。

7　有機廢氣宜采用沸石轉輪吸附、濃縮，并應經焚燒爐氧化方式處理；焚燒后高溫氣體排入大氣前宜設置兩級熱回收裝置。

8　剝離設備有機廢氣進入沸石轉輪處理設備前宜進行預處理。

9　廢氣處理設備采用的級數應根據有害物的種類、初始濃度、當地的排放標準、處理設備的效率等因素確定。

10　兩臺及兩臺以上廢氣處理設備并聯運行時，應在每臺設備的入口設置電動或氣動密閉風閥。

9.2.6　酸、堿、有機、有毒廢氣經處理后應經排氣筒排入大氣，排氣筒高度應符合現行國家標準《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297和環境評估報告的有關規定，排氣筒出口處風速不宜小于18m/s。

9.2.7　酸、堿、有毒和有機排風系統宜在排氣筒內設置在線監測取樣傳感器。

9.2.8　一般排風系統的排風宜作為潔凈室的回風使用。

9.2.9　換鞋間應設置不低于10次/h的全室排風系統，排風口宜設置在下部；換鞋柜宜設置局部排風措施；一次更衣間宜設置不低于5次/h的全室排風系統。