9.3　空氣調節與凈化

9.3.1　凈化空氣調節系統的新風應集中進行熱、濕、凈化處理，新風處理機組的設置應符合下列規定：

1　送風機應采取變頻措施；

2　空氣應經過粗效、中效、高效過濾器三級處理；

3　陣列、彩膜、成盒廠房應設置備用新風處理機組；

4　陣列、彩膜、成盒廠房的電機與風機應采用直聯驅動方式，且有良好的減振措施；

5　新風的吸入口位置應遠離排放有害物或可燃物的排氣口；

6　加濕方式宜采用溫水淋水室；

7　應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于1%。

9.3.2　陣列、彩膜、成盒廠房凈化空氣調節系統的循環風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理，模組和背光源廠房凈化空氣調節系統的循環風宜采用循環空氣處理機組處理。

9.3.3　陣列、彩膜、成盒廠房的潔凈室寬度超過80m時，宜在寬度方向布置不同阻力的回風高架地板。

9.3.4　干冷卻盤管的設置應符合下列規定：

1　迎面風速不宜超過2.5m/s；

2　空氣側阻力不應大于40Pa；

3　布置在同一潔凈室（區）內的干冷卻盤管，在工作條件下空氣側阻力相差不得大于10%；

4　冷凍水的供水溫度宜高于潔凈室（區）內的露點溫度；

5　干冷卻盤管應設置排水系統，非落地安裝的干冷卻盤管應設置積水盤。

9.3.5　風機過濾器機組的設置應符合下列規定：

1　應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；

2　宜采用直流調速電機；

3　機組應采取消音措施，消音裝置不得采用產塵材料，且其燃燒性能等級應達到B級；

4　潔凈度等級為7級～9級的潔凈室（區）不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器；

5　應便于安裝、維修及過濾器更換。

9.3.6　當采用新風處理機組+風機過濾器機組+干冷卻盤管的凈化空調系統時，潔凈區各部位的風速應符合下列規定：

1　上技術夾層不應大于4m/s；

2　下技術夾層不應大于3m/s；

3　回風夾道不應大于4m/s。

9.3.7　空調冷、熱源和水系統的設置應符合下列規定：

1　空調冷媒應采用低溫和中溫冷凍水系統；除新風處理機組的二級冷卻盤管使用低溫冷凍水外，其余冷卻盤管宜使用中溫冷凍水。

2　干冷卻盤管的中溫冷凍水系統宜采用同程式，供水干管的末端宜與回水干管間設置旁通管。

3　布置在吊頂內、下技術夾層及回風夾道內的中溫冷凍水系統供水干管應保溫。

4　布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區內的冷、熱水管的固定支架不應設置在建筑結構體系上。

5　變電所內不宜布置空氣調節器，不得布置各種水閥和水系統配件。

9.3.8　潔凈室的送風量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

9.3.9　潔凈室的噪聲控制設計的噪聲級（空態）應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定，但當潔凈室采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理循環空氣時，單向流和混合流潔凈室的噪聲級（空態）不應大于70dB（A），非單向流潔凈室的噪聲級（空態）不應大于65dB（A）。