8.5　工藝真空和清掃真空

8.5.1　工藝真空系統的設計應符合下列規定：

1　工藝真空系統的抽氣能力應按生產工藝所需實際用氣量及系統損耗量確定；

2　供氣設備應布置在生產廠房內的一個或多個供氣站內；

3　工藝真空設備應選用能耗少、噪聲低的設備；

4　工藝真空設備應根據工藝系統的實際情況選用水環式或干式真空泵；

5　工藝真空系統宜設置真空壓力過低保護裝置。

8.5.2　工藝真空系統的管道設計應符合下列規定：

1　工藝真空管路設計應布置成支狀系統；

2　工藝真空主管道的直徑應按全系統實際抽氣量進行設計；主支管道的直徑應按照局部系統實際抽氣量進行設計，支管道的直徑應按設備最大抽氣量進行設計；

3　工藝真空系統的管道材料宜根據工藝真空系統的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道；

4　采用軟管連接時，應選用金屬軟管。

8.5.3　潔凈室（區）宜設置集中式真空吸塵系統，潔凈室內的吸塵系統管道宜暗敷。