8.3　特種氣體供應

8.3.1　特種氣體供應應采用外購鋼瓶氣體、液態氣體，在工廠內應設置儲存、分配系統。

8.3.2　特種氣體供應儲存分配系統設備應根據特種氣體的性質和儲存數量布置在獨立的建（構）筑物內或生產廠房的專用房間內。

8.3.3　布置在獨立的建（構）筑物內或區域的特種氣體設備的火災危險性的確定應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

8.3.4　布置在生產廠房內的自燃、可燃特種氣體設備分配間的火災危險性應按甲類確定。

8.3.5　新建工廠的大宗硅烷站應布置在獨立建筑物或構筑物內，改、擴建項目的大宗硅烷站可與工廠其他氣體供應站房布置在同一棟建筑物內，并應用防爆墻與其他氣體供應間隔開。

8.3.6　特種氣體系統的氣瓶柜、氣瓶架的設置應符合現行國家標準《特種氣體系統工程技術規范》GB 50646的有關規定。

8.3.7　可燃特種氣體的氣瓶柜應符合下列規定：

1　硅烷氣瓶柜的排風換氣次數不得低于1200次/h，且氣瓶柜的負壓應連續監控；

2　自燃特種氣體的氣瓶柜應設置紫外、紅外火焰探測器及自動滅火系統；

3　可燃特種氣體的氣瓶柜應設置自動滅火系統；

4　自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應在氣瓶之間設置隔離鋼板。

8.3.8　特種氣體系統吹掃氮氣的設置應符合下列規定：

1　特種氣體系統的吹掃氮氣應與獨立的氮氣源連接，并不得與公用氮氣或工藝氮氣系統相連；

2　不相容性特種氣體系統的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源；

3　吹掃氮氣管線應設置止回閥。

8.3.9　特種氣體排氣與廢氣處理的設置應符合下列規定：

1　特種氣體系統的排氣管應設置氮氣稀釋與連續吹掃裝置，防止空氣倒流造成污染和腐蝕；

2　不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管；

3　自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣應經過尾氣處理裝置進行處理，確保達到國家規定的允許排放標準。

8.3.10　生產廠房內的可燃和毒性特種氣體管道應明敷，穿過生產區墻壁與樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采用密封措施。可燃、毒性、腐蝕性氣體管道的機械連接處應置于排風罩內。

8.3.11　特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應采用奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，內表面應進行潔凈和鈍化處理。

8.3.12　可燃、氧化性特種氣體管道應設置靜電泄導的接地設施。

8.3.13　室外布置的特種氣體管道應架空布置。

8.3.14　具有自燃、劇毒性、強腐蝕性的特種氣體宜采用雙套管設計，內管走工藝氣體，套管間可采用封閉或開放形式。