8.2　大宗氣體供應

8.2.1　大宗氣體輸送系統設計應符合下列規定：

1　工廠應根據生產的需求確定大宗氣體的種類，其氣體品質應滿足生產工藝要求；

2　大宗氣體的供氣方式應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況各種因素確定；

3　氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管，放散管應引至室外并應高出建筑的屋脊1m，氫氣放散管道上應設置阻火器；

4　潔凈廠房內氣體管道的干管應敷設在技術夾層或技術夾道內；

5　潔凈室內的氫氣管道應明敷，穿過潔凈室的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施；

6　氫氣管道不得穿過不使用此類氣體的房間，當必須穿過時應設套管或使用雙層管；

7　氫氣和氧氣管道應設置靜電泄導的接地設施。

8.2.2　高純大宗氣體供應系統工藝設計應符合現行國家標準《大宗氣體純化及輸送系統工程技術規范》GB 50724的有關規定。

8.2.3　大宗氣體純化間或氣體入口室內設有氫氣等可燃氣體裝置時，其火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規定：

1　可燃氣體裝置應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；

2　氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；

3　應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置；

4　應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置連鎖。

8.2.4　大宗氣體管道和閥門應根據產品生產工藝要求選擇，并應符合下列規定：

1　氣體純度大于或等于99.9999%時，宜采用內壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，閥門應采用隔膜閥、波紋管閥；

2　氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76℃時，宜采用內壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管或內壁電拋光的低碳奧氏體不銹鋼無縫鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

3　氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60℃時，宜采用內壁拋光的奧氏體不銹鋼無縫鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；

4　氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。

8.2.5　大宗氣體管道連接應符合下列規定：

1　不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊；

2　管道與設備或閥門的連接宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

3　管道與設備的連接應符合設備連接的要求，當采用軟管連接時，應采用金屬軟管。