7.3　微振動控制標(biāo)準(zhǔn)

7.3.1　有微振控制要求的工藝設(shè)備應(yīng)由制造廠商提供設(shè)備臺座處的振動評價方法、微振動控制標(biāo)準(zhǔn)及要求。

7.3.2　有微振控制要求的工藝設(shè)備的支承面振動值應(yīng)在相應(yīng)微振動標(biāo)準(zhǔn)曲線以下。微振動標(biāo)準(zhǔn)曲線可按本規(guī)范附錄B采用。

7.3.3　曝光機(jī)、涂布機(jī)等工藝設(shè)備應(yīng)滿足生產(chǎn)廠商對設(shè)備支承部位的動態(tài)剛度標(biāo)準(zhǔn)值要求。