微納傳感器及其應(yīng)用
《微納傳感器及其應(yīng)用》約32萬字,共分八章。第一章對MEMS進行了概述,簡要介紹了MEMS技術(shù)的定義、基礎(chǔ)理論、制造技術(shù)及應(yīng)用;其后的第二~七章分別以機械微傳感器、熱微傳感器、磁微傳感器、光學(xué)微傳感器與輻射微傳感器、化學(xué)微傳感器與生物微傳感器和聲波微傳感器為主題,介紹了不同種類微傳感器的原理及應(yīng)用;最后第八章介紹了一些傳感器的應(yīng)用實例。各章節(jié)后均有習(xí)題和參考文獻。《微納傳感器及其應(yīng)用》可作為本科生教材,也可供從事傳感器工作的教學(xué)、科研和工程技術(shù)人員參考。
·11.4萬字