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掃描電鏡和能譜儀的原理與實用分析技術(shù)(第2版)
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本書從應(yīng)用的角度出發(fā),介紹了掃描電鏡和能譜儀的基本原理及其在實際工作中的一些典型應(yīng)用。全書分為上、下兩篇和一些相關(guān)的附錄。上篇包括第1~9章,主要論述了掃描電鏡的原理、結(jié)構(gòu)、操作要點和應(yīng)用中幾種常見的圖像質(zhì)量問題,以及一些改善圖像質(zhì)量的應(yīng)對方法和措施,也列舉了多種電子元器件在電應(yīng)力和環(huán)境應(yīng)力等作用下的一些典型失效案例。書中還介紹了有關(guān)電鏡和能譜儀的維護、保養(yǎng)及安裝場地的選擇等注意事項,以供用戶在規(guī)劃和選擇安裝場地時參考。下篇包括第10~18章,主要介紹了X射線能譜儀的原理、數(shù)據(jù)采集和處理及具體的應(yīng)用技術(shù),其中包括Si(Li)與SDD新舊兩種譜儀探測芯片的基本原理,以及能譜儀在定性、定量分析中常遇到的一些棘手問題及應(yīng)對方法。最后還簡略地介紹了羅蘭圓波譜儀和平行光波譜儀的原理及它們各自的特點。書中的附錄還收錄了真空壓力單位的換算表,編撰了能譜分析中可能出現(xiàn)易被誤判的假峰等可能的干擾峰,還加入了部份與掃描電鏡和能譜分析等有關(guān)的常用顯微分析的標準號。

工業(yè)和信息化部電子第五研究所組編 ·物理學 ·33.3萬字

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