MEMS法珀腔光學(xué)聲傳感器
MEMS法珀腔光學(xué)聲傳感器是新一代工業(yè)及信息技術(shù)發(fā)展的核心聲傳感器件。本書系統(tǒng)地論述了MEMS法珀腔光學(xué)聲傳感器的傳感機理、法珀腔聲敏感結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計及制備、調(diào)相譜檢測的聲信號解調(diào)技術(shù)等,還對MEMS法珀腔光學(xué)聲傳感器進行了測試與分析。本書在注重機理分析的同時,將理論與實踐相結(jié)合,具有較強的系統(tǒng)性、理論性和實用性,對從事MEMS光學(xué)聲傳感技術(shù)研究、設(shè)計、制造和應(yīng)用的科技人員有一定的參考價值,也可作為相關(guān)專業(yè)本科生和研究生的教學(xué)參考書。
·7.7萬字