納米壓印技術(shù)
本書詳細(xì)介紹了納米壓印及相關(guān)技術(shù)的工藝、原理、仿真、應(yīng)用和展望。納米壓印技術(shù)是在納米尺度獲得復(fù)制結(jié)構(gòu)的一種成本低而速度快的方法,它可以大批量重復(fù)性地在大面積上制備納米圖案結(jié)構(gòu),并且所制出的高分辨率圖案具有相當(dāng)好的均勻性和重復(fù)性。不僅可以供從事微電子、微納加工、納米技術(shù)的科技人員參考,也由于納米壓印技術(shù)應(yīng)用的廣泛性,亦可作為廣大從事化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、光電子、磁學(xué)等領(lǐng)域的科研人員開拓研究思路的參考書。本書深入淺出,通俗易懂,亦可作為科普讀物。
·9.2萬字