前言

在人類日常的生產(chǎn)、生活當(dāng)中，要用到各種各樣的材料，這些材料在環(huán)境的作用下，往往會發(fā)生各類物理、化學(xué)作用，引起材料腐蝕、磨損進(jìn)而發(fā)生破壞或失效，因此人類應(yīng)用各種薄膜制備技術(shù)，對材料在使用前進(jìn)行表面強(qiáng)化或改性處理，從而在其表面獲得一薄層防護(hù)膜層，以達(dá)到一定的耐腐蝕、耐磨損等作用，此外也可利用薄膜制備技術(shù)來加工制造零部件、元器件，或使材料獲得一定的裝飾效果。

利用各種薄膜制備技術(shù)對材料表面進(jìn)行強(qiáng)化和改性由來已久，在古代人們就已經(jīng)對鋼進(jìn)行淬火處理，來獲得堅硬涂層。近現(xiàn)代以來，隨著新材料的出現(xiàn)以及人們對材料使用性能的要求越來越高，材料表面的薄膜制備技術(shù)研究異常活躍，舊工藝不斷更新，新技術(shù)、工藝相繼問世。

薄膜制備技術(shù)種類繁多，涉及廣泛。它的基體材料可以是金屬材料、有機(jī)高聚物材料、無機(jī)非金屬材料；所制備的薄膜可以由金屬或合金組成，也可以由各種化合物組成；薄膜制備可以在真空或一定的氣氛中進(jìn)行，可以在等離子體中進(jìn)行，也可以在液相中進(jìn)行。

本書是編著者根據(jù)多年本科生、研究生的教學(xué)經(jīng)驗，結(jié)合自身多年以來的科研工作及科研成果編寫而成，分別介紹了物理氣相沉積技術(shù)、化學(xué)氣相沉積技術(shù)、硬膜及超硬膜的制備、液相中的化學(xué)電化學(xué)制備技術(shù)。在編寫過程中，編者參閱一些文獻(xiàn)資料，特向原作者表示感謝！青島科技大學(xué)教務(wù)處、青島科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)對本書編寫給予了大量的支持，青島科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院的張乾副教授、王寶祥副教授及于慶先老師為本書編寫給予了許多具體幫助，我們謹(jǐn)向他們表示真誠的感謝。

由于學(xué)術(shù)水平有限，本書必然會存在諸多問題和不足，殷切希望讀者批評指正。

編著者

2014年10月