1.1 永磁同步直線電機特點

在高端制造裝備中應用的精密直線電機中，永磁同步直線電機（Permanent Magnet Synchronous Linear Motor，PMSLM）是最具代表性的。永磁同步直線電機是由對應的永磁旋轉同步電機演變而來[3，4]，具體過程如圖1-2所示，將永磁旋轉同步電機沿徑向切開然后沿周向展開拉平，即可演變為永磁直線同步電機。對于永磁旋轉同步電機，通常電樞側被稱之為定子，永磁側被稱之為轉子。而在PMSLM中，通常電樞側被稱之為初級，永磁側被稱之為次級。根據運動部件的不同，又可以分別稱之為動子和定子，既可以將初級（電樞側），也可以將次級（永磁側）用作動子，相應地另一側用作定子。當PMSLM三相繞組施加對稱的正弦波電流激勵時，氣隙中產生行波磁場，沿水平方向移動。電樞繞組產生的行波磁場與永磁體勵磁產生的磁場相互作用，導致電機產生水平方向的推力。

圖1-2 旋轉電機與直線電機示意圖