4.2　工藝用氣制備、儲存

4.2.1　工藝用氣來源應根據(jù)用量、壓力要求及經(jīng)濟原則選擇外購或現(xiàn)場制備。外購和現(xiàn)場制備氣體應滿足氣體質(zhì)量指標要求；工藝用氣制備能力應符合生產(chǎn)需求。

4.2.2　采用外購工藝用氣時，其儲存可采用液體儲罐、高壓氣瓶方式。

4.2.3　采用現(xiàn)場制備工藝用氣時，氮氣、氧氣、二氧化碳可采用膜分離法、變壓吸附法、蒸發(fā)法制備或氣瓶匯流排提供。采用壓縮空氣制備其他氣體時，應保證氣源供應的穩(wěn)定性。

4.2.4　工藝用氣現(xiàn)場制備后，應配備工藝用氣緩沖罐，其容積應根據(jù)使用情況和生產(chǎn)負荷確定，并應滿足系統(tǒng)異常時的用氣要求。

4.2.5　工藝用氣制備與儲存設施應設置安全泄放裝置。