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3.4 改進后的臺架

設計的新裝置中的閥門為高真空手動擋板閥,閥門的開閉可以得到很好的控制,且能提高系統的氣密性。所有的連接頭都采用快卸法蘭連接,方便拆裝。

高真空手動擋板閥的工作原理是手動旋轉閥桿,閥桿上下運動從而帶動閥板上下運動實現密封。其漏率可達1.3×10-7Pa·L/S,因此能維持良好的真空環境,改進后的臺架見圖3-19。

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圖3-19 改進后的臺架

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