第2章　電子衍射及衍襯像分析

晶體對電子的衍射和對X射線的衍射一樣，也需要滿足衍射幾何條件（布拉格公式）和物理條件（結構因子），獲得的衍射花樣對單晶體是一系列規則排列的衍射斑點，對多晶體則是同心衍射環。單晶體的衍射花樣是晶體倒易平面的放大像，衍射斑點包含了晶體的結構信息，準確標定電子衍射花樣是進行晶體學分析的基礎。透射電子顯微鏡不但可以獲得含有結構信息的衍射花樣，還可以獲得包含形貌和亞結構信息的電子顯微像，借助選區電子衍射可使電子顯微形貌和結構在微米范圍內一一對應。此外，會聚電子束衍射還可以給出試樣厚度、晶格應力、價電子分布、結構因子等信息。

衍射襯度的產生是因為試樣不同區域的衍射束強度不同，衍射條件的改變或樣品厚度不同會引起衍射強度的變化。為了獲取顯著的衍射振幅襯度并易于進行定量處理，一般采用雙束近似條件下的單束成像。明場像和暗場像的獲取依賴于物鏡光闌的位置，只有透射束通過時得到明場像，只有衍射束通過時得到暗場像。衍襯像和晶體的厚度、取向、原子序數和晶體缺陷等因素有關，常被用于分析晶體的厚度、缺陷結構等。