內容簡介

為了有效保障我國科學技術事業的發展，為國家科技重大專項提供學科信息服務支撐，中國科學院國家科學圖書館按照國家科技圖書文獻中心（NSTL）服務國家重大科技專項的總體戰略，組建了面向重大專項的學科情報服務團隊，其中包括面向“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（簡稱“02專項”）學科信息服務團隊。“02專項”學科信息服務團隊嵌入專項科研一線，為項目承擔的科研團隊、管理者、決策者及業內相關人員提供長期跟蹤服務。

本書共分5章。第1章緒論部分對需求調研、專利分析方法、數據來源及所用術語進行解釋。第2章圍繞集成電路設計、工藝制造、封裝測試、材料、設備儀器，對2015年集成電路產業公開專利進行分析。第3～5章進一步對工藝領域、存儲領域及光刻領域關鍵技術進行專利分析。本書從嵌入國家重大科技專項科研創新過程的學科情報服務實踐出發，以專利數據的視角展示集成電路產業關鍵技術的研發概況，以期為廣大從業人員或公眾提供一份有效參考。