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“芯”制造:集成電路制造技術(shù)鏈
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《“芯“制造:集成電路制造技術(shù)鏈》立足集成電路制造業(yè),以多方位視角,按產(chǎn)業(yè)鏈上游、中游、下游逐級剖析,采用分形理論框架,系統(tǒng)地繪制出集成電路制造業(yè)的立體知識樹。在內(nèi)容組織方面,本書以實際應(yīng)用為導(dǎo)向,涵蓋集成電路設(shè)計、生產(chǎn)制造及封裝測試三大關(guān)鍵環(huán)節(jié),聚焦芯片的尖端制造技術(shù)和先進(jìn)封裝技術(shù),以分形邏輯詳細(xì)介紹產(chǎn)業(yè)鏈的每一個環(huán)節(jié)。本書共十二章。第一章為緒論,簡要介紹集成電路制造技術(shù)的發(fā)展歷程,集成電路制造業(yè)的概況、產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)與特點,以及發(fā)展趨勢。第二章~第十章深入探討先進(jìn)制造的工藝與設(shè)備,具體介紹芯片制造的單項工藝、關(guān)鍵材料、系統(tǒng)工藝,以及芯片設(shè)計與工藝的協(xié)同優(yōu)化,隨后詳細(xì)介紹光刻機(jī)、沉積與刻蝕設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光,以及其他關(guān)鍵工藝設(shè)備與工藝量檢測設(shè)備。第十一章、第十二章分別介紹芯片封裝與測試,以及先進(jìn)封裝與集成芯片制造技術(shù)。本書可供集成電路、微電子、電子科學(xué)與技術(shù)等相關(guān)專業(yè)的研究生和高年級本科生學(xué)習(xí),也可供相關(guān)專業(yè)高校教師和集成電路行業(yè)的研究人員、工程師等閱讀。

趙巍勝 王新河 林曉陽等編著 ·電子通信 ·34.5萬字

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