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婁利飛編著
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全部作品
全書共8章，第1章初識微機電系統。第2章闡述了用于傳感或執行元件工作的基本機理，并介紹了一些典型的微傳感器和微執行器。第3章討論了用于微機電系統的多種材料。第4章描述了怎樣制造微機電系統和器件。第5章詳細介紹了微機電系統的設計仿真、分級建模和MEMSCAD技術。第6章講述了微機電系統設計和封裝中相關的工程力學問題和尺度效應。第7章和第8章主要介紹微機電系統的封裝和檢測技術等。
婁利飛編著 ·電子通信 ·18.9萬字
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