微機(jī)電系統(tǒng)與設(shè)計(jì)
全書共8章，第1章初識(shí)微機(jī)電系統(tǒng)。第2章闡述了用于傳感或執(zhí)行元件工作的基本機(jī)理，并介紹了一些典型的微傳感器和微執(zhí)行器。第3章討論了用于微機(jī)電系統(tǒng)的多種材料。第4章描述了怎樣制造微機(jī)電系統(tǒng)和器件。第5章詳細(xì)介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)仿真、分級(jí)建模和MEMSCAD技術(shù)。第6章講述了微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)和封裝中相關(guān)的工程力學(xué)問題和尺度效應(yīng)。第7章和第8章主要介紹微機(jī)電系統(tǒng)的封裝和檢測技術(shù)等。
·18.9萬字
