1.5.1　濕法轉移

濕法轉移技術使用化學腐蝕液體去除CVD制備過程中使用的金屬箔片，并將石墨烯轉移到其他材料的襯底上。由于PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）的黏滯性比較低且浸潤性較好，因此經常將其作為濕法轉移石墨烯的中間件使用［203］。該流程的示意圖如圖1.9所示［204］，可以概括為以下幾點:

（1）用CVD方法在銅箔上制備得到石墨烯，使用旋涂方法在石墨烯表面涂覆均勻的PMMA；

（2）將旋涂有PMMA的石墨烯加熱至大約60℃并保持3min；

（3）使用化學腐蝕液體（如FeCl3）將銅箔腐蝕，此時石墨烯附著在了PMMA中間件上；

（4）將需要的襯底與PMMA貼合，在純水中浸泡，使得石墨烯貼合在目標襯底上。

濕法轉移存在一些缺點:由于旋涂環節的瓶頸，當石墨烯/銅箔較大時，PMMA很難均勻涂覆在石墨烯表面，所以用這種方法轉移的石墨烯面積比較??；由于需要多次長時間浸泡，所以濕法轉移效率比較低。

圖1.9　濕法轉移石墨烯到介質襯底上的流程示意圖，主要分為旋涂、加熱、腐蝕、轉移幾個步驟