- 石墨烯電磁特性與應用
- 陸衛兵等
- 566字
- 2022-08-16 17:52:41
1.4.1 機械剝離法
在石墨晶體中,層與層之間的碳原子依靠范德華力結合起來,相關計算結果表明相鄰兩層作用能約為2eV/nm2,所以石墨片層之間作用力較弱,很容易在機械力作用下剝離。2004年,英國曼徹斯特大學A.K.Geim等人使用膠帶剝離高定向熱解石墨(Highly Oriented Pyrolytic Graphite,HOPG)方法得到了層數不等的石墨烯薄片[8,9]。其步驟概括為如下幾點:
(1)用氧等離子體在HOPG表面進行刻蝕大約5μm深度,留下微柱,柱寬度從20μm到2mm大小不等;
(2)向這個帶結構的HOPG表面涂抹光刻膠,并烘干,這樣光刻膠緊密包裹著石墨微柱,去除微柱以外的石墨基底,在光刻膠上留下石墨微柱;
(3)用透明膠帶在微柱上每次剝離石墨薄片,這樣光刻膠里得到單層或多層石墨烯薄片,一起放入丙酮溶液;
(4)將硅晶圓(SiO2厚度為300nm的n型摻雜硅)浸泡在溶液中一段時間,再取出用蒸餾水和丙醇清洗,最終會剩余一些石墨烯薄片附著在晶圓表面;
(5)用超聲波與丙醇清洗去除比較厚的薄片,最終留下厚度小于10nm的薄片,受到范德華力/表面張力的作用,與基底緊密連接。
上述過程簡要表示如圖1.5所示。

圖1.5 英國曼徹斯特大學A.K.Geim等人運用機械剝離法制備石墨烯樣品過程示意圖
機械剝離法是從天然途徑獲得石墨烯,使用這種方法制備石墨烯成本很低,并且具有純度高、缺陷少、載流子遷移率高、光電特性好的優點[158,159]。缺點是尺度很小,只有微米量級,并且形狀不規則、層數不容易控制。