內容簡介

本書對復雜的半導體制造系統智能調度問題從理論到方法再到應用, 進行了系統論述。主要內容包括數據驅動的半導體制造系統調度框架、半導體制造系統數據預處理的方法、半導體生產線性能指標相關性分析、智能化投料控制策略、一種模擬信息素機制的動態派工規則、基于負載均衡的半導體生產線的動態調度和性能指標驅動的半導體生產線動態調度方法、大數據環境下的半導體制造系統調度發展趨勢。

本書面向從事半導體制造系統計劃、調度和優化等相關領域研究工作的科研人員, 自動控制、工業工程等專業院校研究生的教師, 制造管理及微電子制造行業生產管理或工程技術人員等, 力求在半導體制造系統及其智能調度的理論方法、技術及應用案例等方面為讀者提供有價值的參考和輔助。