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4.4 設備配置

4.4.1 薄膜太陽能電池生產設備和輔助設備宜選擇自動化程度高、耗能低、排放少的設備,潔凈區內的生產設備應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定。

4.4.2 生產線工序之間宜采用自動傳輸設施。采用人工傳輸時,應配置搬運車和相應的產品載具。

4.4.3 化學氣相沉積及物理氣相沉積工藝區域應配置潔凈室專用的檢修起重設備。

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