4.2　潔凈室（區）環境監控設計

4.2.1　根據工藝要求，應對潔凈室（區）的空氣參數進行監視、測量和記錄。

4.2.2　潔凈室（區）的監控系統與凈化空調的監控系統宜合用，或采用通信的方式進行數據共享。

4.2.3　多個潔凈室（區）采用一套監控系統時，應根據最嚴格的潔凈室（區）的溫度和濕度要求選擇控制系統的精度。

4.2.4　潔凈室（區）內外的壓差檢測，宜采用壓差變送器監測。

4.2.5　潔凈室（區）安裝有過濾器時，宜具有過濾器壓差報警功能。

4.2.6　傳感器宜對化學物質沉積采取防護措施或具備自潔功能。