4.4　工藝用氣分配與輸送

4.4.1　工藝用氣分配系統設計應與使用點氣體質量、供應方法相匹配。

4.4.2　工藝用氣分配系統可采用環狀管路系統、枝狀管路系統。

4.4.3　工藝用氣與非工藝用氣宜分系統設置，工藝用氣采用非工藝用氣系統供氣時，應設置檢測與控制措施。

4.4.4　分配系統的設計應符合下列規定：

1　應控制工藝用氣系統污染與交叉污染的風險；

2　系統應便于泄漏性檢測；

3　過濾器設置應便于過濾器的完整性測試；

4　分配系統設計應采取措施防止氣體倒流、系統失效帶來的風險。

4.4.5　在壓力波動較大時，氣體減壓宜采用二級減壓，當使用點需求變化較大時，管路可采用并聯減壓閥方式進行使用點減壓。

4.4.6　工藝用氣分配輸送系統的管路應設置消毒設施。