9.3　空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.3.1　凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理，新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1　送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施；

2　空氣宜經(jīng)過粗效、中效、高效過濾器三級(jí)處理；

3　新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1%。

9.3.2　光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機(jī)組處理。

9.3.3　金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置。

9.3.4　循環(huán)空氣處理機(jī)組宜采用干冷卻方式處理空氣。

9.3.5　循環(huán)空氣處理機(jī)組的風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施。

9.3.6　空調(diào)加熱、加濕系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)利于工廠余熱的利用。

9.3.7　潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

9.3.8　凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離排放有害物或可燃物的排氣口。

9.3.9　潔凈室的噪聲控制設(shè)計(jì)的噪聲級(jí)（空態(tài)）應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定，但當(dāng)潔凈室采用風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理循環(huán)空氣時(shí)，單向流和混合流潔凈室的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于70d B（A），非單向流潔凈室的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A）。