1.3.4　真空滲碳

1.3.4.1　真空滲碳原理

真空滲碳是將機械零件在真空中加熱，當達到鋼材臨界點溫度以上時，停留一段時間，并進行脫氣及脫除氧化膜，然后通入經過凈化的滲碳氣體（如CH₄、C₃H₈等），以進行滲碳及擴散。真空滲碳的滲碳溫度高，可達1030℃，滲碳速度快。滲碳零件經脫氣、去氧化物而使表面活性提高，提高了隨后的擴散速度，滲碳與擴散反復交替進行，直到達到要求的表面濃度和深度為止。

1.3.4.2　真空滲碳的特點

真空滲碳深度與表面濃度可以控制；真空滲碳可以改變金屬零件表層的冶金學性質；真空滲碳有效滲碳深度比其他方法滲碳實際深度更深。

1.3.4.3　主要應用

例如：齒輪真空滲碳、軸類零件真空滲碳、鉆井機零件真空滲碳、數據處理機零件等。