1.1.2　真空熱處理設備的分類

真空熱處理設備（爐）的分類方法很多，通常按以下幾種特征進行分類。

按用途可以分為：真空退火爐、真空回火爐、真空滲碳爐、真空淬火爐、真空釬焊爐、真空燒結爐等。

按真空度可以分為：低真空爐（壓力在1333～1.33×10-1Pa）、高真空爐（壓力在1.33×10-1～1.33×10-4Pa）、超高真空爐（壓力在1.33×10-4Pa以上）。

按工作溫度可以分為：低溫爐（溫度≤700℃）、中溫爐（溫度在700～1000℃）、高溫爐（溫度＞1000℃）。

按作業(yè)性質可以分為：周期式真空爐、半連續(xù)式真空爐、連續(xù)式真空爐。

按加熱方法可以分為：電阻加熱和感應加熱兩種。

按爐型結構形式可以分為：立式真空爐、臥式真空爐。

按熱源的加熱方式可以分為：電阻加熱真空爐、感應加熱真空爐、電子束加熱真空爐、燃氣加熱真空爐。

通常，按真空爐的結構和加熱方式，可以將真空熱處理爐分為兩大類：一類是外熱式真空熱處理爐，也稱作熱壁式真空熱處理爐；另一類是內熱式真空熱處理爐，也稱為冷壁式真空熱處理爐。