前言

先進干涉檢測技術是將經典的干涉系統與當前各種新穎的光電子器件及機電系統、高速發展的計算機技術緊密結合，從而實現目標信息多參數三維空間高精度檢測的綜合性技術。其在國防及國民經濟、微電子、材料及生物醫學各領域都有著廣泛的應用。

本書以光的干涉、衍射、偏振及電磁波理論為基礎，系統全面地介紹了各種先進干涉技術及應用。全書內容共分10章。第1章光及光的干涉，闡述了光的特性及光干涉的基本概念；第2章常見干涉儀，介紹了一些最基礎及常用的干涉儀；第3章共路干涉儀，簡要介紹了散射板、剪切干涉及點衍射等共路型的干涉儀；第4章非球面檢測技術，系統地介紹了非球面的基本概念、非球面的零位與非零位檢測及各種新穎的波前重構算法；第5章精密長度及振動測量干涉體系，全面介紹了激光干涉測長、測振系統的工作原理、外差測長技術及納米測試技術中的諧振增強技術；第6章干涉相位調制及解調技術，系統介紹了各種新穎的、商用化的干涉儀的相移技術、時間相位調制、空間相位調制及偏振相移技術等；第7章干涉系統應用中的精密掃描與定位系統，介紹了干涉檢測中常用的壓電晶體及其性質、各種新穎的壓電晶體在精密干涉移相、掃描定位及納米檢測中的應用；第8章新型干涉儀，系統介紹了光纖干涉儀、雙光子干涉儀、全息干涉儀等新穎干涉儀；第9章干涉光譜技術，介紹了光譜技術的發展及分類、F-P干涉儀、干涉成像光譜儀、高光譜分辨率激光雷達濾光器等光譜技術；第10章干涉圖分析中的關鍵技術，系統地介紹了典型干涉圖及表達方法、干涉圖預處理、相位解調、解包裹處理、正交多項式擬合等波前重構的算法。全書理論分析嚴謹、實例新穎豐富，匯集了作者數十年科研成果及教學經驗。

本書列入浙江大學光電學院與浙江大學出版社聯合多所高校進行優秀教材系列化建設的“高等院校光電類專業系列規劃教材”，可以作為光學、光電信息工程、光電檢測及干涉計量的大專院校本科生、研究生的專業課教材，也是相關科研單位專業人員的科研參考書。

本書由浙江大學楊甬英教授等編撰，其中密歇根大學田超博士后編撰了第8、10章。張磊、凌瞳、陳曉鈺、師途、成中濤、羅敬、王晨、周雨迪、種詩堯、李瑤、岳秀梅諸位博士參與了大量的資料收集、整理及編撰的相關工作，師途博士進行了教材初稿至定稿的整理和聯絡。各位為教材的順利完稿做出了貢獻，在此表示衷心的感謝。

由于作者水平有限，書中難免存在不妥或疏漏之處，誠請各位專家和讀者批評指正。

楊甬英

2017年5月于求是園