第2章 常見干涉儀

干涉儀是根據光的干涉原理制成的計量儀器，它以光波作為測量尺度，將被測物理量轉化為光程差，最終以干涉條紋反映被測信息。作為計量儀器，干涉儀具有高精度、高靈敏度和非接觸式測量等優點。根據不同的測試方式的出現隨之形成了具有各自特點的干涉儀。本章將針對一些常用干涉儀予以簡要介紹。