硅基MEMS制造技術
隨著MEMS技術的不斷成熟和全面走向應用,MEMS芯片的量產問題變得越來越重要。顯然MEMS芯片的量產必須在集成電路生產線上進行,但是MEMS芯片制造與集成電路制造相比有明顯不同,這使得集成電路生產線在轉型制造MEMS芯片時會遇到一些特殊的工藝問題。本書主要圍繞如何利用集成電路平面工藝制造三維微機械結構,進而實現硅基MEMS芯片的批量制造,系統介紹了硅基MEMS芯片制造技術。由于MEMS涉及學科較多,為了讓不同學科背景的人能夠快速讀懂本書,本書先對MEMS的來龍去脈及MEMS出現的原因進行了簡單介紹,然后詳細介紹了相關內容,盡量做到通俗易懂。希望讀者通過本書能全面了解硅基MEMS芯片制造技術,為從事與MEMS相關的工作打下基礎。
·19.6萬字