微納傳感器及其應(yīng)用
《微納傳感器及其應(yīng)用》約32萬字，共分八章。第一章對MEMS進(jìn)行了概述，簡要介紹了MEMS技術(shù)的定義、基礎(chǔ)理論、制造技術(shù)及應(yīng)用；其后的第二～七章分別以機(jī)械微傳感器、熱微傳感器、磁微傳感器、光學(xué)微傳感器與輻射微傳感器、化學(xué)微傳感器與生物微傳感器和聲波微傳感器為主題，介紹了不同種類微傳感器的原理及應(yīng)用；最后第八章介紹了一些傳感器的應(yīng)用實(shí)例。各章節(jié)后均有習(xí)題和參考文獻(xiàn)。《微納傳感器及其應(yīng)用》可作為本科生教材，也可供從事傳感器工作的教學(xué)、科研和工程技術(shù)人員參考。
·11.4萬字
