第1章 概述

由于光纖工作頻帶寬、傳輸損耗小，再憑借微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）制造工藝可實現微小型化、批量化和高一致性生產的優勢，MEMS光學聲傳感器表現出高靈敏度、寬頻帶、大動態范圍和高信噪比的優異聲探測性能，受到了科研人員的普遍關注和深入研究。本章將通過光學聲傳感器的研究現狀及光學聲傳感器中的MEMS工藝介紹，總結得到光學聲傳感器的發展趨勢。