內(nèi)容簡(jiǎn)介

MEMS法珀腔光學(xué)聲傳感器是新一代工業(yè)及信息技術(shù)發(fā)展的核心聲傳感器件。本書系統(tǒng)地論述了MEMS法珀腔光學(xué)聲傳感器的傳感機(jī)理、法珀腔聲敏感結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)及制備、調(diào)相譜檢測(cè)的聲信號(hào)解調(diào)技術(shù)等，還對(duì)MEMS法珀腔光學(xué)聲傳感器進(jìn)行了測(cè)試與分析。

本書在注重機(jī)理分析的同時(shí)，將理論與實(shí)踐相結(jié)合，具有較強(qiáng)的系統(tǒng)性、理論性和實(shí)用性，對(duì)從事MEMS光學(xué)聲傳感技術(shù)研究、設(shè)計(jì)、制造和應(yīng)用的科技人員有一定的參考價(jià)值，也可作為相關(guān)專業(yè)本科生和研究生的教學(xué)參考書。