內容簡介

MEMS法珀腔光學聲傳感器是新一代工業及信息技術發展的核心聲傳感器件。本書系統地論述了MEMS法珀腔光學聲傳感器的傳感機理、法珀腔聲敏感結構的優化設計及制備、調相譜檢測的聲信號解調技術等，還對MEMS法珀腔光學聲傳感器進行了測試與分析。

本書在注重機理分析的同時，將理論與實踐相結合，具有較強的系統性、理論性和實用性，對從事MEMS光學聲傳感技術研究、設計、制造和應用的科技人員有一定的參考價值，也可作為相關專業本科生和研究生的教學參考書。