1.3 光學聲傳感器的MEMS制備工藝

根據1.2節中對不同類型光學聲傳感器研究現狀的分析和討論可以得出微小型化光學聲傳感器是面向原位、集成傳感應用的亟需器件的結論。微小型化的核心是MEMS制備工藝，其中主要涉及的聲敏感結構為微結構光纖光柵、光纖干涉儀和微諧振腔等。本節將主要圍繞上述三種結構展開MEMS制備工藝介紹。