【武則天為監察宗室與大臣，規定任何人均可告密。凡屬告密之人，臣下不得私自審訊，國家都會向其供給驛站車馬和飲食。即使是農夫樵人，武則天都親自接見。所告之事，如果符合旨意，就可破格升官。如果并非事實，亦不會問罪，于是四方告密者蜂起。

其中生性殘忍的索元禮、周興、來俊臣、侯思止等人通過告密被授予掌管制獄的官職，形成“酷吏政治”，被告者一旦被投入此獄，酷吏們則使用各種酷刑審訊，能活著出獄的百無一二。這樣，隨著告密之風的日益興起，被酷吏嚴刑拷打致死的人日漸增多。于是“朝士人人自危，相見莫敢交言”，大臣們每次上朝前，都要和家人訣別。

武則天謀奪李唐社稷，翦除唐朝宗室，引起諸王不安，欲起兵對抗。還未有共識的時候，博州刺史、瑯邪王李沖，在垂拱四年（688年）八月于博州（今山東聊城東北）舉兵；豫州刺史、越王李貞起兵豫州（今河南汝南），以呼應李沖。

武則天分遣丘神勣、魏崇裕討伐。李沖起兵七日即敗死。九月，李貞兵敗自殺。武則天想盡除李氏諸王，使周興等展開審訊，逼迫韓王李元嘉、魯王李靈夔、黃國公李撰、東莞郡公李融及常樂公主等自殺，他們的親信也被殺死。

武則天的侄子武承嗣命人鑿白石為文說：“圣母臨人，永昌帝業。”號稱該石是在洛水中發現的，獻給武則天。武則天大喜，為石取名為“寶圖”。垂拱四年（688年）五月，武則天加尊號為“圣母神皇”。十二月，武則天親自拜洛受圖，史稱此時“皇帝、皇太子皆從，文武百官、蠻夷酋長，各依方位而立。珍禽奇獸，并列于壇前”。這次儀式的“文物鹵簿”，是“自有唐已來，未有如此之盛者也”。

載初元年（690年）九月間，發生了一系列官民、宗戚、四夷首領、沙門、道士向武則天請求改國號為周，賜皇帝姓武的要求，李旦亦自請賜姓武氏。不久，群臣奏稱“鳳集上陽宮，赤雀見朝堂”，武則天方準所請，于九月九日（10月16日）登上則天門樓，大赦天下，改唐為周，改元天授。這標志著武周王朝的建立。

這標志著武周王朝的建立。歷史上把這改唐為周的事件稱為“武周革命”。十一日，群臣為武則天上尊號為“圣神皇帝”。她以洛陽為神都，長安為西京副都，除唐宗室屬籍，“以皇帝（李旦）為皇嗣，賜姓武氏”；又改置社稷，改旗幟尚赤。十二日，在神都立武氏七廟。

神龍元年（705年）正月，武則天病篤，在迎仙宮集仙殿臥床不起，只有張易之、張昌宗兄弟侍側。宰相張柬之、崔玄暐與大臣敬暉、桓彥范、袁恕己等，交結禁軍統領李多祚，佯稱二張謀反。于是發動政變，率禁軍五百余人，沖入宮城，殺死二張，隨即包圍集仙殿，要求武則天退位。

二十三日，李顯代理國政，施行大赦，改年號為神龍。二十四日，武則天被迫傳位給李顯，次日，李顯在通天宮即皇帝位。退位后的武則天徙居上陽宮。李顯復位后，率百官到觀風殿問武則天起居，此后每十日一往；又為武則天上尊號為“則天大圣皇帝”。二月初四，恢復國號為唐，百官、旗幟、服色、文字等皆復舊制，復稱神都為東都。

據記載，晚年的武則天“善自粉飾，雖子孫在側，不覺其衰老”。等到退位后，卻不再梳妝打扮，面容憔悴。一次，李顯入見武則天時，為此而大驚。武則天哭泣道：“我從房陵把你接回神都，固然是要把天下托付于你，而五賊（參與神龍政變的五王）卻貪求事功，把我驚動到這里。”李顯聽后，悲泣不已，跪地“拜謝死罪”。有觀點認為，正是此事，使得武三思等武氏族人仍能夠參與朝政。

神龍元年十一月二十六日（705年12月16日），武則天在上陽宮的仙居殿病逝，享年八十二歲（《舊唐書》作八十三，此從《新唐書》）。遺詔省去帝號，稱“則天大圣皇后”，并赦免王皇后、蕭淑妃二族以及褚遂良、韓瑗、柳奭三人的親屬，神龍二年（706年）五月，她得以與高宗合葬于乾陵。

武則天死后，留下了一塊無字碑，至于為什么碑上沒有題字，后人對此也有所推斷，一共有四個比較靠譜的說法：

第一種說法認為，武則天立“無字碑”是用以夸耀自己，表示功高德大非文字所能表達！

武則天從公元655年做皇后開始，到公元705年被迫退位，前后參與朝政和掌握最高權力達五十年之久。如果從唐高宗死時算起，也有二十一年。她是中國歷史上唯一正統的女皇帝。

她在政治上打擊豪門世族，并通過發展科舉制度，使得大量人才進入政治舞臺，抑制了豪門壟斷；她獎勵農桑、興修水利，減輕徭役并整頓均田制，使社會經濟不斷上升，民戶數不斷增長；她知人善任，破格用人，鼓勵各級官吏舉薦人才，并虛心納諫，職是之故，“累朝得多士之用”。

她加強封建國家的邊防，改善與邊境各族的關系。總之，武則天是一個富有政治才干和理想的人，在她統治期間做過許多符合民眾利益的事，穩固和發展了“貞觀之治”，把歷史推進一大步，并對后來“開元之治”起到了承前啟后的作用。

第二種說法認為，武則天立“無字碑”是因為自知罪孽重大，感到還是不寫碑文為好。

第一，武則天以阿諛奉承的手段取得信任，從地位較低的“才人”，爬到掌握大權的皇后，最后竊居皇位；第二，培養黨羽、建立宮廷奸黨集團，并打著李唐“朝廷”的旗號，消滅異己；第三，任用酷吏，實行告密和濫刑的恐怖政策；第四，唐初社會經濟發展呈馬鞍形，而武則天當政時處于最低處；第五，在其當政期間，曾失掉了安西四鎮，危害了國家的統一。職是之由，武則天無法為自己立傳，而只能以“無字碑”來為后世定基調。

第三種說法認為，武則天是一個有自知之明的人，立“無字碑”是聰明之舉，功過是非讓后人去評論，這是最好的辦法。因為武則天有可以肯定的地方，也有應該否定的地方。

武則天當政期間，貞觀以來經濟發展的趨勢，仍在繼續；在處理唐高宗去世前后的復雜局面中，她表現了不平凡的個人才干；就“納諫”和“用人”這兩點，連許多具有封建正統思想的人士，為之贊嘆不已。

但是，武則天的消極面也十分突出。她為了鞏固個人的地位，任用“酷吏”，也曾濫殺無辜，崇信佛教，奢侈浪費。特別是統治后期，朝廷政治日趨腐敗，形成一批為武則天所縱容支持的新的特權貴族。武則天被迫交出權力，還政于唐中宗，她知道對自己的一生，人們會有各種各樣的評價，碑文寫好寫壞都是難事，因此決定立“無字碑”，由后人去評價。

第四種：為維護道家統治，防止儒家登臺，把儒生殺的血流成河，武則天知道歷史多數是儒家編寫，如果不立此碑，那一代女皇的名聲將徹底成黑。】