HgC光刻膠

主要成分為汞感光性化合物，鹵素化合物。

看著完全陌生的名字，所有科研人員都覺得驚詫。

他們知道ArF（氬氟）光刻膠、KrF（氪氟）光刻膠、EUV光刻膠、i-line光刻膠。

但是這個(gè)HgC光刻膠是什么鬼？

按照成分來說，應(yīng)該可以稱為汞鹵素光刻膠。

不過鹵素是元素周期表中的一組元素，包括氟、氯、溴、碘以及疾。

這些元素屬于同一元素族，具有同特征...