2.2.6 其他分析技術

1.透射電子顯微鏡分析技術

透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope，TEM）具有很高的分辨率，能區分掃描電子顯微鏡不易區分的形貌細節，能確定第二相的結構，如果配有能譜還能測定第二相的成分。但透射電子顯微鏡不能做400倍以下或很高倍數的定點連續觀察，制樣過程較復雜，有時還會產生假象。為了保證不出現假象，一般用重復法，即在同一部位反復觀察多次。透射電子顯微鏡如圖2-10所示。

2.電子探針分析技術

電子探針（EP）的主要特長在于能測量幾立方微米體積內材料的化學成分，如測量細小夾雜物或第二相的成分，檢測晶界或晶界附近與晶內相比有無元素富集或貧化等。但是，它不能代替常規的化學分析方法來確定總體含量的平均成分；不能做H、He、Li三元素的分析，而且對Be（z=4）到Al（z=13）等元素的靈敏度都很低；也無法檢測晶界面上的微量元素，如可逆回火脆性晶界面上的富集元素。

3.X射線衍射分析技術

X射線衍射分析包括粉末法和衍射法。粉末法可確定斷口上的腐蝕產物、析出相或表面沉積物，該法一次可獲得多種結構和成分。衍射法用來測定第二相或表面殘余應力，它的靈敏度高、方便、快速，能分析高、低溫狀態下的組織結構。但衍射法不能同時記錄許多衍射線條的形狀、位置和強度，不適合分析完全未知的試樣。

圖2-10 透射電子顯微鏡