2.2 EBSD技術及其原理概述

電子背散射衍射(electron?backscatter?diffraction,?EBSD)技術是基于掃描電鏡(SEM)中入射電子束在傾斜試樣表面激發并形成的衍射菊池帶以確定晶體結構、取向及相關信息的方法。電子背散射衍射的形成是由于入射電子束會在進入樣品后產生非彈性散射,在入射點附近發散并在出射時與晶體晶格發生布拉格衍射。