第3章?半導體制造系統數據預處理

受各種因素的干擾,實際制造系統的數據質量不高。低質量的數據會導致挖掘結果不理想,因此數據預處理通常被視為數據挖掘的重要環節。數據預處理的目的在于提高數據質量,一般包括數據集成、變換、清理和規約等任務。半導體制造系統在數據采集過程中難免會發生傳感器漂移、設備故障或人工失誤等現象,導致數據集包含噪聲。此外,生產調度相關數據需要從MES、ERP、SCADA等系統中集成得到,這些系統中的數據從不同層次不同角度描述了企業生產過程,導致所集成數據的屬性之間有較高冗余,這些都需要通過數據預處理來解決。