1.2.7　輝光放電質譜

像大多數質譜技術一樣，輝光放電質譜（GD- MS）也已成為一種成熟的分析工具，應用于較寬的動態范圍內分析地質冶金和半導體材料（導電和非導電）的主要、痕量和超痕量成分，其應用范圍跨越多個學科。第一臺商用GD- MS于1985年建造。如表1-3所示，GD- MS對各種稀土元素的檢測限度低于μg/g水平，這項技術在檢查單個稀土氧化物的純度方面具有很高的應用價值。