7　結　　構

7.1　一般規定

7.1.1　發光二極管工廠光刻機等精密設備基礎應滿足微振動控制的要求。

7.1.2　產生較大振動的設備基礎宜遠離光刻機等精密設備區域；當無法遠離時，對產生較大振動的設備應采取有效的隔振措施。

7.1.3　生產廠房工藝生產區的結構不宜設置伸縮縫。