4.4　設備布置

4.4.1　振動敏感設備宜遠離振動源布置。

4.4.2　生產設備宜根據工藝流程集中布置，并考慮設備搬運、維修空間。

4.4.3　金屬有機化合物化學氣相沉積設備及其輔助設備宜集中布置。

4.4.4　氣瓶柜、尾氣處理設備、氣體純化柜等金屬有機化學氣相沉積設備的輔助設備的布置方式，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016和《特種氣體系統工程技術規范》GB 50646的有關規定。