4.6　二次配管配線

4.6.1　二次配管配線應包括下列管線安裝：

1　各種給水、排水系統的一次管道閥門至設備接口之間的配管；

2　各種氣體動力系統的一次管道閥門至設備接口之間的配管；

3　各種工藝排風、排氣系統的一次管道閥門至設備接口之間的配管；

4　生產動力終端工藝母線或配電盤至設備接口之間的配管配線。

4.6.2　設備二次配管配線作業應在設備安裝完成后進行，并應與設備供應商復核設備的接口位置、種類、數量、尺寸、型式等信息。

4.6.3　二次配管配線的材料宜與一次配管配線的材質一致，并應符合下列規定：

1　工藝冷卻水應根據工藝設備水質要求選用，宜采用不銹鋼管或PVC管，管配件及閥門宜采用與管道相同的材質；

2　管線與設備的連接方式應便于拆卸更換，對于易產生振動的設備應采用柔性連接等減少振動影響的連接方式；

3　工藝冷卻水系統的溫度計、壓力表宜采用不銹鋼材質；

4　壓縮空氣和氮氣系統根據工藝生產線品質要求宜選用SUS304 BA或SUS316L BA管道，閥門宜選用球閥；其余大宗氣體系統和特種氣體系統宜采用SUS316LEP管道，閥門口徑小于等于1/2"時應采用SUS316LEP隔膜閥，閥門口徑大于1/2"時應采用波紋管截止閥；特種氣體系統當采用雙套管時，內管宜采用SUS 316L EP管道，外管宜采用SUS304 AP外拋管；

5　氧氣管道、管件、墊片及其他附件都應脫脂，閥門、儀表應在制造廠已脫脂完畢；

6　化學藥液輸送宜采用雙層管或PP管；雙層管內管宜為PFA管，外管宜采用透明PVC管；閥門宜采用與管道材質相同的耐腐蝕隔膜閥和閥門箱設置方式，不宜直接設置閥門于管道上；

7　有機排風管宜采用SUS304不銹鋼材料，使用氬弧焊連接；

8　酸堿排風管宜采用PVC、PP等防腐蝕材料焊接或熔接；

9　對耐蝕性、耐熱性、強度有特殊要求的，宜采用不銹鋼內襯特氟龍管道；

10　熱排風介質溫度大于55℃時，應對管路設置絕熱層，絕熱材料不得采用易破碎、掉渣和對人體有刺激作用的材質；閥門應采用與排風管相同的材質；

11　純水管路材質宜采用PVDF、PP、PFA、CLPVC；

12　溫度大于80℃的酸堿排水不宜采用PVC、PP管道接管，可采用化工PVC；采用PP管時不得直接排放；

13　含有高濃度氫氟酸、硝酸的排水管道，宜采用雙層管道，內管宜為PVDF管或PP管，外管宜采用透明PVC管；

14　潔凈室內的電氣配管宜采用外表面光滑的金屬管，與設備連接采用的穿線軟管應為不燃材料；

15　特種氣體、大宗氣體、純水和化學品系統的二次配管配線安裝工程應符合現行國家標準《特種氣體系統工程技術規范》GB 50646、《大宗氣體純化及輸送系統工程技術規范》GB 50724、《電子工業純水系統設計規范》GB 50685和《電子工業化學品系統工程技術規范》GB 50781的有關規定。

4.6.4　二次配管配線施工時，應根據現場實際情況進行空間整合優化設計，使管線排列整齊、美觀，走向合理，維修方便，不得在操作面布設管線。

4.6.5　當在活動地板上開孔時，應符合現行國家標準《微電子生產設備安裝工程施工及驗收規范》GB 50467的有關規定。

4.6.6　潔凈室內的二次配管配線安裝需開洞時，不得影響承重結構，且開洞時不得對潔凈室造成污染。

4.6.7　二次配管應采用專用設備對管道進行平口、切割、焊接作業。

4.6.8　潔凈室內不宜進行電焊作業，特殊情況應采取有效的防護措施；在保證及時防護、及時清理，不污染潔凈室的情況下，宜優先使用氬弧焊進行焊接作業；輸送大宗氣體、非腐蝕性溶劑的不銹鋼管，當采用焊接連接時，應采用鎢極氬弧焊機施焊，且其保護氣體的純度不應低于管網本底氣體的純度。

4.6.9　不銹鋼管焊接質量應符合下列規定：

1　兩管端應垂直于管中心軸線，端面應平整光滑、無毛刺；

2　對口不得有間隙，直徑小于或等于2英寸的不銹鋼管，錯邊量不得大于管壁厚度的10%；直徑大于2英寸的不銹鋼管，錯邊量不得大于管壁厚度的15%；

3　焊接應為自熔全焊透焊縫，管內外焊縫平整光滑，焊波整齊美觀。焊縫的凹凸不平度不得大于管壁厚度的10%；

4　焊縫應焊趾整齊，焊縫寬度應一致，其誤差不得大于0.2mm，管內焊縫表面寬度宜為外縫表面寬度的60%；

5　管內、外焊縫表面不得有氣孔、裂紋等缺陷，管內焊縫及熱影響區不應有氧化變色。

4.6.10　PVC管粘接應符合下列規定：

1　應選用管材生產廠家配套的專用膠水和清潔劑；膠水與管材應相匹配，與使用說明一致；

2　室外溫度低于5℃時，膠水應保存在室內；

3　粘接后管路兩端應開放通風；

4　管路粘接后，膠水固化時間應符合說明書要求，達到設計強度方可進行通水試壓。

4.6.11　高純介質二次配管時，管道預制作業應在專門防塵、防靜電的潔凈小室內進行，加工件經潔凈處理后密封搬入潔凈廠房內進行安裝，潔凈小室的空氣潔凈度等級宜采用8級。

4.6.12　二次配管支、吊架安裝應牢固可靠，并應符合下列規定：

1　二次配管支、吊架宜采用碳鋼鍍鋅或不銹鋼材料，切割斷面應做防腐處理；

2　管卡應與管道直徑相匹配；

3　不銹鋼管與碳鋼支架、管卡之間應分別設置隔離墊和隔離套管，隔離墊宜采用軟質聚四氟乙烯板，套管宜采用聚乙烯軟管。

4.6.13　二次配管標識應與一次配管配線標識一致。

4.6.14　二次配管進行壓力試驗時，應符合下列規定：

1　試驗介質應采用高純氮氣或高純氬氣，其純度不得低于管道工作介質純度；

2　不得采用水壓試驗；

3　待試管道與生產設備無關系統應采用盲板或采取其他措施隔開，待試管道上的安全閥、爆破板及儀表元件應拆下或隔離；

4　試驗用壓力表宜采用專用管道壓力測試記錄儀，當采用普通壓力表時，其精度不應低于1.5級；

5　介質為氫氣、酸堿藥液等具有危險性、腐蝕性的二次配管安裝完成后必須進行壓力試驗；

6　壓力試驗應分為強度試驗和氣密性試驗；強度試驗應采用設計壓力的1.15倍，保壓30m in無損壞、無泄漏為合格；氣密性試驗應采用設計壓力的1.05倍，保壓24h無壓降、無泄漏為合格；

7　二次配管壓力試驗開始時應測量試驗溫度，試驗溫度嚴禁選擇材料脆性轉變的溫度。

4.6.15　二次配管安裝完成后，宜做泄漏試驗。

4.6.16　二次配管試驗完成后，應填寫設備配管檢驗批質量驗收記錄。

4.6.17　當設計文件規定以氦氣進行泄漏性試驗時，應符合現行國家標準《無損檢測氦泄漏檢測方法》GB/T 15823的有關規定。

4.6.18　二次配管壓力試驗完成后，應脫開設備進行吹掃。吹掃氣體的純度不應低于管網輸送介質的純度。