在半導體行業中,檢測儀器和制造設備同樣,至關重要。
沒有高精度的檢測設備,你就無法精確測量晶體結構的空間尺寸,也無法精確測量溝槽的漏電量到底有多少。
在這上面,德州儀器算是幫了華芯科技的大忙,這也為BSIM項目組提供了準確的數據來源。
FinFET技術在目前的制造工藝還看不出有多大的優勢,因為制程的原因,現在的溝槽漏電量可以忽略不計。
但到了32納米制造工藝之后,因為距離的...
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在半導體行業中,檢測儀器和制造設備同樣,至關重要。
沒有高精度的檢測設備,你就無法精確測量晶體結構的空間尺寸,也無法精確測量溝槽的漏電量到底有多少。
在這上面,德州儀器算是幫了華芯科技的大忙,這也為BSIM項目組提供了準確的數據來源。
FinFET技術在目前的制造工藝還看不出有多大的優勢,因為制程的原因,現在的溝槽漏電量可以忽略不計。
但到了32納米制造工藝之后,因為距離的...