第1章　等離子體技術簡介

等離子體作為物質存在的一種基本形態，自從18世紀中期被發現以來，對它的認識和利用在不斷深化。早期等離子體主要是作為發光現象、導電流體或高能量密度的熱源來加以研究和應用的。利用其光能的如霓虹燈、熒光燈、水銀燈等，利用其熱能的如等離子體焊接和等離子體切割等，利用其機械能的如磁流體發電等。到20世紀60年代，等離子體化學能的研究和利用逐漸受到人們的重視，隨著對等離子體中各種粒子化學活性和化學行為認識的不斷深入，形成了一門新興的交叉學科——等離子體化學。由于等離子體化學是使物質吸收電能進行反應的技術，必須將電能有效地轉化為化學能，因此等離子體化學的發展與真空技術、等離子體診斷技術和放電技術的發展是息息相關的。近幾十年來等離子體技術得到了突飛猛進的發展，其研究重心也從熱等離子體及等離子體物理應用擴展到低溫等離子體及其化學方面的應用。