習題

1．簡述超聲波位移微傳感器的工作原理。

2．什么是黏滯力？它在壓阻式微流量傳感器中的作用是什么？

3．慣性敏感轉(zhuǎn)換系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)靈敏度因子B對壓阻式微加速度計的影響是什么？

4．能帶結(jié)構(gòu)的變化與壓強微傳感器中外加壓強p的關(guān)系是什么？